Roostevabast terasest pulbrifiltri kassetid koos videomaki 1/2" liidestega on pooljuhtide tootmise kriitilised komponendid, mis on spetsiaalselt loodud kõrge -puhtusastmega gaasijaotussüsteemide jaoks. Need filtrikassetid kasutavad täpse filtreerimise saavutamiseks täiustatud metallipulbri paagutamise tehnoloogiat, püüdes tõhusalt kinni kuni 5 mikroni suurused osakesed. See tagab protsessi jaoks ülitundlike gaaside tarnimise, mis on ülitundlikud. pooljuhtide valmistamise protsessid Videomaki 1/2-tolline liides tagab lekkekindla-metalli-metalli-tiheduse, mis vastab pooljuhtkeskkondade rangetele nõuetele, kus isegi väikesed gaasilisandid võivad põhjustada mikroelektroonikaseadmetes olulisi defekte. Nende tugev konstruktsioon korrosioonikindlast{14}}roostevabast terasest tagab vastupidavuse ja pikaajalise{15}}kindluse äärmuslikes tingimustes.

Pooljuhtide rakendustes mängivad need filtrikassetid üliolulist rolli allavoolu seadmete, nagu massivoolu regulaatorid ja täppisventiilid, kaitsmisel tahkete osakeste eest. Integreerides sujuvalt olemasolevatesse kõrge-puhtusastmega gaasitorudesse, lihtsustavad need paigaldamist ja hooldust, vähendades samas süsteemi seisakuid. Kõrge filtreerimise efektiivsuse, erakordse keemilise vastupidavuse ja usaldusväärse tihenduse kombinatsioon muudab need asendamatuks gaasi ühtlase puhtuse ja töötõhususe tagamiseks täiustatud pooljuhtide tootmisrajatistes.

Toodete spetsifikatsioonid

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

Materjal: 316L pulber
Suurus: φ40*196,3mm
Filtri täpsus: 5 mikronit
Liides: VCR1/2"
Tehniline: paagutamine

Toote omadused

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. Ülikõrge puhtusvõime ja osakeste säilivus
- Paagutatud roostevabast terasest struktuur (tavaliselt 316 liitrit) tagab puhta, täismetallist filtreerimiskeskkonna, mis ei sisalda sideaineid, liime ega orgaanilisi jääke.
- Suudab säilitada kuni 0,5 μm suurusi submikronilisi osakesi, vältides mikrosaaste jõudmist protsessikambritesse või vahvlitesse.
- Osakeste eraldumist ei toimu, tagades stabiilse osakeste arvu pikaajalisel kasutamisel.

2. Tugev mehaaniline ja termiline stabiilsus
- Täismetallist konstruktsioon peab vastu kõrgele rõhule, kõrgele temperatuurile ja sagedastele termotsüklitele.
- Säilitab mehaanilise terviklikkuse gaasijaotussüsteemides levinud vibratsiooni-, pöördvoolu- või rõhupulseerimistingimustes-.
- Ühildub kõrge temperatuuriga gaasitorude soojusjälgimisega.

3. Taaspuhastav ja taastatav
- Filtrielemente saab vastu loputada, ultraheliga puhastada või vaakumis küpsetada, mis võimaldab polümeer- või keraamiliste filtritega võrreldes pikka kasutusiga.
- Tüüpiline elutsükkel ulatub 5–10 korda ühekordselt kasutatavate PTFE- või PVDF-filtrite omast, minimeerides seisakuid ja kogu omamise kulu.

4. Keemiline ühilduvus ja korrosioonikindlus
- 316L roostevaba teras säilitab passiivse oksiidkile kloriidi, fluori, ammoniaagi ja happelise gaasi keskkonnas.
- Mittereaktiivne pind takistab metalliioonide ekstraheerimist või gaasi koostise muutumist.

rakendusi

1. UHP gaasijaotusliinid
- Paigaldatakse lahtiselt gaasi tarnimisalustesse, gaasikappidesse ja VMB/VMP paneelidesse, filtreerides osakesed välja enne, kui gaas siseneb MFC-desse või protsessitööriistadesse.
- Kasutatakse N₂, Ar, H₂, He, O2, NH3, CF4 ja muudes kõrge puhtusastmega gaasijuhtmetes, mis toidavad kriitilisi protsesse.

2. Massivoolu regulaatori (MFC) sisselaskeava kaitse
- Hoiab ära osakeste saastumise ja klapi kulumise täppismassivooluregulaatorites.
- Parandab MFC-de pikaajalist voolu stabiilsust ja kalibreerimise järjepidevust.

3. Töötlemiskamber ja tööriistagaasi sisselaskeavad
- Tagab osakeste- ja niiskusvaba tarnimise CVD-, ALD-, söövitus- ja difusiooniahjudesse.
- Kasutatakse SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃ ja TEOS liinides, kus puhtus on kile kvaliteedi ja saagise seisukohalt kriitiline.

4. Gaasi ja lähteainete erisüsteemid
- Metallist orgaaniliste või halogeenipõhiste gaaside puhul, mille keemiline inertsus ja temperatuuri stabiilsus on üliolulised.
- Tihti asetatakse aurustite või mullitajate järel kondenseerunud osakeste või tilkade püüdmiseks.

Võtke meiega ühendust

Tel: 0917-3873009

Telefon: +86 18992731201

Meil:zhangjixia@bjygti.com

Faks: 0917-3873009

Aadress: No. 195, Gaoxin Avenue, High-tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Hiina

Whatsapp: +86 18992731201

Kuum tags: 5 mikronit roostevabast terasest pulberfiltri kassetid videomaki 1/2" liidestega, Hiina, tarnijad, tootjad, kohandatud, kasutus, hinnakiri, müügiks, laos, tasuta proov, poorne materjal

Tooted

5 mikronit roostevabast terasest pulbrifiltri kassetid videomaki 1/2" liidestega

Toodete spetsifikatsioonid

Toote omadused

rakendusi

Võtke meiega ühendust